Толщиномер для горячей зоны флоат-линий.
Стекло и керамика №1
Стекло и керамика №2
Система для мониторинга температуры и толщины в нанотехнологиях.
Low-Coherent Light Interferometry For Monitoring Of Technological Process In A Metalorganic Vapor-Phase Epitaxy
Оптический мониторинг параметров технологических процессов в условиях металлорганический газофазной эпитаксии.
Novel technique for monitoring of processing in nanoelectronics.
| 
